儀器簡(jiǎn)介:
薄膜應力儀,系統采用非接觸MOS激光技術(shù);不但可以對薄膜的應力、表面曲率和翹曲進(jìn)行精確的測量,而且還可二維應力Mapping成像統計分析;同時(shí)可精確測量應力、曲率隨溫度變化的關(guān)系;
技術(shù)參數:
1.XY雙向程序控制掃描平臺掃描范圍:300mm;2m (XY)(可選);
2.掃描速度:20mm/s(x,y);
3. XY雙向掃描平臺掃描*小步進(jìn)/分辨率:1 μm;
4.平均曲率分辨率:2×10-5 1/m (1-sigma);
5.中心曲率測量范圍:Minimum Concave: 2.0m,Minimum Convex: -2.0m;
Maximum Concave: 50km Maximum Convex: - 50km;
6.應力測量精度:1% 或0.32MPa;
7.中心應力測量范圍:Minimum Concave: 0.32MPa Minimum Convex: 0.32MPa;
Maximum Concave: 7.80 GPa Maximum Convex: 7.80 GPa
8.應力測量分辨:0.32MPa;
9.平均應力重復性:0.02MPa;
10.Bow測量高度:0.67mm;
11.Bow測量分辨率:30nm;