微特云辦公系統
電話(huà)：15301560529
聯(lián)系電話(huà)：0512-62996316
新聞
News
常規ICP刻蝕的操作流程
點(diǎn)擊量：1580 日期：2023-10-13 編輯：硅時(shí)代
（一）裝片：1，在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標下Stop，切換至Vent ，120s 后打開(kāi) Loadlock；2，涂抹真空油脂：根據片子尺寸大小，在托盤(pán)上涂抹均勻一層油脂；3.放片：放片的時(shí)候要用鑷子輕輕夾住樣片，將樣片一邊貼在油脂上，慢慢地放下另一邊。用鑷子按住樣片一端， 在油脂上稍稍一動(dòng)樣片， 以便趕走樣片與油脂之間的氣泡， 使得樣片與油脂緊密粘在一起。（注意：如果用力過(guò)大，片子可能會(huì )碎裂）。
（二） 抽真空：1，在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標開(kāi)啟小機械泵，預抽L(cháng)oadlock，至真空度到-2 時(shí)可以進(jìn)行刻蝕操作；2，選擇所需加熱模式，根據樣品選擇所需加熱模式Heater or Chiller( 冷卻裝置)，設定加熱或冷卻溫度。當溫度與真空度達到要求后進(jìn)入Chamber 界面。
（三）刻蝕：1，根據要求設定程序， 確定工藝參數（氣體流量、ICP功率、RF功率、壓力、溫度、時(shí)間等）；2.程序運行時(shí)，看起輝是否正常，適當修正匹配功率。
（四）取片：刻蝕完畢后，在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標下Stop，切換至Vent，打開(kāi)Loadlock
（五）去真空油脂：參照光刻工藝操作規范相的去膠工藝步驟操作。結束后，檢測并完成實(shí)驗記錄，移交樣品。
